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나노 SnO₂분말은 SnCl₂․2H₂O, N₂H₄, NaOH를 출발원료로 이용하여 제조하였다. 나노 SnO₂후막 가스센서는 알루미나 기판위에 스크린 프린팅 하여 300℃에서 열처리하여 준비하였다. XRD 측정결과, 나노 SnO₂는 tetragonal상의 주피크 (110)면이 나타남을 확인 하였다. SnCl₂:[N₂H₄]+[NaOH]의 비율이 1:6인 경우, SnO₂나노 입자의 평균 크기는 약 60 nm로 나타났다. 센서의 감응 특성은 각 센서의 전기 저항으로 부터 계산 하였다. SnCl₂:[N₂H₄]+[NaOH] 비율 변화에 따른 SnO₂나노 입자의 CH₄ 가스와 CH₃CH₂CH₃ 가스 5 ppm에 대한 가스 감도 측정 결과, CH₄ 가스의 경우, SnCl₂:[N₂H₄]+[NaOH]의 비율 1:8, CH₃CH₂CH₃ 가스의 경우, SnCl₂:[N₂H₄]+[NaOH]의 비율이 1:6에서 감도가 가장 높게 나타났다. SnCl₂:[N₂H₄]+[NaOH]의 비율이 1:6인 나노 SnO₂의 반응 및 회복시간은 각각 40초, 30초로 나타났다.


SnO₂nano powders were prepared by solution reduction method using tin chloride(SnCl₂․2H₂O),hydrazine(N2H4) and NaOH. The SnO₂thick films for gas sensors were fabricated by screen printing method on alumina substrates and annealed at 300℃ in air, respectively. XRD patterns of the SnO₂nano powders showed the tetragonal structure with (110) dominant orientation. The particle size of SnO₂nano powders at the ratio of SnCl₂:N₂H₄+NaOH= 1:6 was about 60 nm. The sensing characteristics were investigated by measuring the electrical resistance of each sensor in a test box. Sensitivity of SnO₂gas sensor to 5 ppm CH₄ gas and 5 ppm CH₃CH₂CH₃ gas was investigated for various SnCl₂:N₂H₄+NaOH proportion. The highest sensitivity to CH₄ gas and CH₃CH₂CH₃ gas of SnO₂sensors was observed at the SnCl₂:N₂H₄+NaOH= 1:8 and SnCl₂:N₂H₄+NaOH= 1:6, respectively. Response and recovery times of SnO₂gas sensors prepared by SnCl₂:N₂H₄+NaOH= 1:6 was about 40 s and 30 s, respectively.