Closed-loop identification of wafer temperature dynamics in a rapid thermal process

홈 논문 논문상세

약어 : Korean J. Chem. Eng.

연구분야 :

1경북대학교

2University of Texas

3University of Texas

이 논문은 한국연구재단 지원과제의 연구결과물입니다. [KRM 바로가기]
[2001년 대학교수해외방문연구지원] 급속열적가공기에서 온도측정 및 제어

피인용횟수

KCI 1 회

WoS (2021-01-01 기준) 0 회

WoS 학술지 정보에 KCI 학술지의 ISSN, 발행년, 권, 호 시작페이지가 일치하는 정보로 조회한 결과입니다.

KCI+WoS 1 회

WoS 피인용 목록과 KCI 피인용 목록을 비교하여 중복을 제거한 횟수입니다.

82 회 열람