초록 close

In this paper, we analyze the optical properties of the transmission grating recorded in a reflection-type photopolymer. Recording and reconstruction of the micropattern using a total internal reflection hologram applied to a reflection type photopolymer are studied. The transmission-type photopolymer was shown to have the maximum diffraction efficiency in 40˚ symmetric structure. However, that of reflection type photopolymer was more than 90% at 60 ~ 80 ˚. The line and point patterns with the interval of 1 ㎛ are recorded successfully and can be observed when the micro objective lenses with 10 and 100 time magnification are used.


본 논문에서는 반사형 포토폴리머의 투과형 기록구조에서의 광학 특성을 분석하고 전반사 홀로그램 기법이 적용된 반사형 포토폴 리머를 이용하여 미세패턴을 기록하였다.투과형 포토폴리머는 대칭형 입사구조에서40° 일 때 최대 효율을 보였으나 반사형 포토폴 리머는 60°~80°에서 90% 이상의 회절효율을 보였다. 미세패턴 기록에서 10배 및 100배로 확대하여 측정한 결과 선 패턴과 점 패턴 간격 모두1㎛ 까지 구분할 수 있었다.