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저손실 Ti : LiNbO3 광도파로 기판에 외부전계 인가법을 사용하여 주기적으로 도메인을 반전시켰다. LiNbO3의 .Z 면에 Ti 패턴 형성 후 약 1060 o C에서 열처리 과정을 통해 광도파로를 형성하였으며, 제작된 광도파로의 광전송 손실은 ~0.1 dB/cm였다. 도메인 반전을 위해 +Z면에 주기적인 전극 패턴을 형성하였으며, 외부전계의 균일한 인가를 위해 LiCl 전 해 용액을 사용하여 도메인을 반전 시켰다. 선택적 화학식각을 통해, 약 16 μm의 도메인 반전 주기를 확인 할수 있었으며, 주기적 도메인 반전구조를 갖는 Ti : LiNbO3 도파로의 비선형 특성을 측정하였다.


Periodic electric field assisted poling low loss (~0.1 dB/cm) single-mode Ti-diffused waveguides in LiNbO3 has been achieved using a periodically patterned electrode on the +Z surface of Ti : LiNbO3 crystal and homogeneous LiCl solution. Using selective chemical etching, we confirmed the periodic (~16 μm) domain inverted structure and measured SH (second harmonic) properties of fabricated periodically poled Ti : LiNbO3 waveguides.