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Pulsed laser deposition 방법으로 증착한 PbZr0.3Ti0.7O3 (PZT)박막의 구조적, 전기적 성질에 대한 연구를 하였다. PZT 박막은 LaAlO3 기판위에 동일한 조건으로 증착된 LaMnO3 (LMO) 산화물을 하부 전극으로 하여 증착시간을 변화시키며 증착하였다. High-resolution x-ray diffraction 결과를 통해 LMO 하부 전극과 PZT 박막이 방향성 있게 자란 것을 확인할 수 있었고 박막의 두께는 field-emission scanning electron microscope을 통하여 측정할 수 있었다. 또한 우리는 atomic force microscopy을 이용하여 박막의 표면 거칠기를 구하였고 국소적인 범위의 전기적 특성은 piezoelectric force microscopy 모드를 이용하여 측정하였다. 그 결과 PZT/LMO 구조는 나노 스토리지의 미디어로 쓰이기 위해 필요한 성질들을 갖추었음을 알 수 있었다.


We have investigated structural and electrical properties of PbZr0.3Ti0.7O3 (PZT) thin films deposited by pulsed laser deposition methods. PZT thin films have been deposited on LaMnO3 (LMO) bottom electrodes with LaAlO3 (LAO) substrates during different deposition times. High-resolution x-ray diffraction data have shown that all the PZT films and bottom electrodes are highly oriented. The thickness of each film is determined by field-emission scanning electron microscope. We have also observed root mean square roughness by using atomic force microscopy mode, and local polarization distribution and retention behavior of a ferroelectric domain by using piezoelectric force microscopy mode. A PZT/LMO structure has shown good ferroelectric and retention properties as the media for nano-storage devices.