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일반적인 MPS 정류기의 순방향 전압강하 및 전력손실을 향상시키기 위해 몰리브덴을 장벽금속으로 사용하여 새로운 Mo-MPS 정류기를 제조하였다. 제조 된 Mo-MPS 정류기의 전기적 특성을 Al-MPS 및 Pt-MPS 정류기와 비교함으로써 특성을 평가하였다. 실험 결과 동일한 0.1A의 전류에서 Mo-MPs 정류기의 순방향 전압강하가 Al-MPS 및 Pt-MPS 정류기와 비교하여 각각 0.11V, 0.24V 낮게 나타났다. 따라서 순방향 전류밀도와 순방향 전압강하에 지배적으로 의존하는 전력손실에 있어서도 일반적인 MPS 정류기와 비교하여 향상되었다. 68% 쇼트키 접합 면적비를 가지는 Mo-MPS 정류기의 역방향 항복전압은 대략 304V로 나타났다. 이는 Al-MPS 및 Pt-MPS 보다 낮은 순방향 전압강하를 가지면서도 높은 역방향 항복전압 특성을 보여준다.


The current paper presents a new Mo-MPS rectifier using molybdenum as barrier metal to improve on the low forward voltage drop and power dissipation of the coventional Al-MPS and Pt-MPS rectifier. Electrical characteristics of the fabricated Mo-MPS rectifier are imvestigated compared with Al-MPS and Pt-MPS rectifier. At the same current level, the forward voltage drop of the Mo-MPS was reduced by 0.11V∼0.24V compared to that of the conventional MPS rectifier. Accordingly, since the power dissipation of a rectifier mostly depends on the forward current density and forward voltage drop, the Mo-MPS rectifier achieved improved power dissipation when compared to the conventional MPS rectifier. The reverse breakdown voltage of a Mo-MPS rectifier with 68% Schottky junction area was about 304V. Despite having a lower forward voltage drop than a conventional MPS rectifier, the Mo-MPS rectifier still exhibited a higher reverse breakdown voltage.