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Double-Gate MOSFET의 TSi변화에 따른 subthreshold 특성을 비교 분석하였다. Lightly-doped asymmetrical 소자의 경우에 symmetrical 소자에 비하여 subthreshold current가 TSi에 따라 급격하게 증가하는 현상을 발견하였으며 이는 낮은 depletion charge 때문에 TSi내의 전압분포가 linear한 특성을 갖는 것에 기인함을 밝혔다. 또한 이러한 현상을 설명할 수 있는 analytical equation을 유도하였으며 analytical equation 결과와 device simulation 결과를 비교하여 그 정확도를 검증하였다.


The subthreshold characteristics of Double-Gate MOSFETs are analyzed for various Tsi. In the lightly-doped asymmetric device, it is found that the subthreshold current dramatically increases as the Tsi increases and this phenomenon is due to the linear distribution of potential in the channel region with low depletion-charge. Further, we derived an analytical equation which can explain this phenomenon and verified the accuracy of analytical equation by comparing with the result of device simulation.