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Sol-gel 법으로 제작한 (Pb0.9La0.1)Ti0.975O3 (PLT (10)) 박막의 구조적 및 전기적 특성에 대한 과잉 Pb 첨가량이 미치는 영향을 조사하였다. DTA 와 X-선 회절분석 결과, 과잉 Pb 첨가량이 7.5 에서 15 mol% 로 증가함에 따라, PLT (10) 박막의 결정화 온도는 감소하였으며, (100) 우선 배향성은 증가하였다. 또한, PLT (10) 박막의 과잉 Pb 첨가량에 따른 전기적 특성을 조사한 결과, 12.5 mol% 의 과잉 Pb 를 첨가한 박막이 가장 우수한 전기적 특성을 나타내었다. 이때, 비유전률과 유전손실은 각각 350 과 0.02 이었고, 100 kV/cm 에서 누설전류밀도는 1.27 10-6 A/cm2 이었다. 또한 이력곡선으로부터 구한 잔류분극 (Pr) 과 항전계 (EC) 는 각각 6.36 C/cm2 와 58.7 kV/cm 이었으며, 5V 의 사각펄스를 109 회 인가한 후에도 잔류분극값이 초기값의 약 15 % 감소하는 비교적 우수한 피로특성을 나타내었다. 이상의 결과로부터, 과잉 Pb 첨가량이 12.5 mol% 인 PLT (10) 박막은 비휘발성 메모리에 응용될 수 있는 매우 유망한 재료임을 알 수 있었다.


In order to study electric properties of (Pb0.9La0.1)Ti0.975O3 (PLT (10)) films with varying excess lead concentration (7.5, 10, 12.5, 15 mol% excess lead), the PLT films were deposited by sol-gel process. DTA analyses reveal that the crystallization temperature of the precursor powers decreased with increasing amount of excess lead. XRD patterns of PLT reveal pure perovskite structure and the preferred orientation increased with increasing Pb content in the films. With increasing amount of excess Pb, the relative permittivity ( r) increased and leakage current density at 100 kV/cm transformed 4.01 10-5, 2.42 10-6, 1.27 10-6, 1.56 10-6 A/cm2, respectively. In the results of hysteresis loops measured at 166 kV/cm, the remanent polarization (Pr) and the coercive field (Ec) are 6.36 C/cm2 and 58.7 kV/cm, respectively. (at 12.5 mol% excess Pb) With increasing amount of excess Pb, the remanent polarization for PLT thin film degraded to about 44 %, 27 %, 15 %, 16 % of the initial value after 109 cycles.