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La 농도가 5, 10, 15mol% 인 PLT (Pb1-xLaxTi1-x/4O3) 박막의 초전특성에 대한 변조 주파수 의존성을 dynamic 방법을 이용하여 조사하였다. 그 결과, La 농도가 10mol% 인 PLT 박막이 가장 우수한 초전특성을 보였다. 이때 초전계수는 주파수 의존성이 없이 최대값 6.6×10-9 C/cm2·K 을 나타내었으며, 전압감도와 비검출능에 대한 재료평가지수도 각각 1.03×10-11C·cm/J 과 1.46×10-9C·cm/J 로 가장 우수한 값을 나타내었다. 초전전압에 상응하는 전압감도는 저주파 영역에서 거의 일정하고 고주파 영역에서 주파수에 반비례하는 특성을 가지고 주파수 8 Hz 일 때 기준으로 최대값 5.15 V/W 로 나타났고, 잡음등가전력과 비검출능은 같은 주파수 100 Hz 에서 각각 9.93×10-8 W/Hz1/2와 1.81×106 cmHz1/2/W의 최소값과 최대값을 나타내었다. 이는 La 농도가 10mol% 인 PLT 박막이 초전형 적외선 센서에 적용하기에 가장 적합하다는 사실을 나타낸 것이다.


Modulation frequency dependences of the pyroelectric properties of PLT (Pb1-xLaxTi1-x/4O3) thin films with La concentrations of 5, 10 and 15 mol% have been investigated by using the dynamic method. The PLT thin film with 10 mol% of the La concentration (PLT(10) thin film) shows the most excellent pyroelectric properties among the films. For PLT(10) thin film, the pyroelectric coefficient shows the maximum value of 6.6×10-9 C/cm2.K without frequency dependence. The figure of merits for the voltage responsivity and specific detectivity are 1.03×10-11 C.cm/J and 1.46×10-9 C.cm/J, respectively. Voltage responsivity corresponding to the pyroelectric voltage is almost constant at low modulation frequency and decreases in proportional to frequency at high modulation frequency. Voltage responsivity is 5.15 V/W at 8 Hz. Noise equivalent power (NEP) and specific detectivity (D*) of the PLT(10) thin film are 9.93×10-8 W/Hz1/2 and 1.81×106 cmHz1/2/W at the frequency of 100 Hz, respectively. The results indicate that PLT(10) thin film is very suitable for pyroelectric IR sensors.