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일반적인 표면 마이크로머시닝 공정과 고분자의 중합공정을 결합하여 전도성 고분자인 폴리피롤 액추에이터를 제작하였다. 폴리피롤 액추에이터의 제작 공정을 검증하기 위한 가장 기본적인 구조물은 폴리피롤 캔틸레버이며 이를 이용하여 세포 조작에 응용 가능한 폴리피롤 그리퍼 및 밸브의 기본 구조물들을 제작하였다. 그리퍼는 손가락과 유사한 형태로 뼈에 해당하는 단단한 고분자와 근육에 해당하는 폴리피롤 등으로 구성된다. 밸브는 폴리피롤 캔틸레버에 유로가 결합된 형태로 제작되었다. 제안한 폴리피롤 액추에이터의 제작 공정 및 기본 구조물들은 세포 조작기구와 같은 바이오 관련 응용에 이용될 수 있을 것이다.


Polypyrrole microactuators have been fabricated by the standard surface micromachining method combined with the electropolymerization of polypyrrole. The fundamental structure to verify the feasibility of the fabrication process is polypyrrole cantilever. Based on these process, polypyrrole grippers and valves for the manipulation of the cell have been fabricated. Grippers have the structure of bone and muscle which are rigid polymers and polypyrrole, respectively. Valves have the assembled structure of channels with polypyrrole cantilevers. The proposed fabrication process and structures are expected to be used for bio-related applications, for example, the cell manipulation.