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CO 기체 감지 특성을 향상시키기 위해서 3 mol% ZnO를 첨가한 SnO2와 3mol% SnO2를 첨가한 ZnO의 적층 형태를 변화시켜 연구하였다. 적층 구조는 단일층, 복층, 그리고 이종층 구조로 후막 인쇄법을 사용하여 제작하였다. SnO2-ZnO계에서 제 2상은 발견되지 않았다. 전도성은 SnO2에 ZnO를 첨가하면 감소하고, ZnO에 SnO2를 첨가하면 증가하였다. 측정 온도증가와 CO 기체 유입으로 전도성은 증가하였다. 단층 및 복층의 후막센서 구조의 감도 향상은 없었으나, SnO2·3ZnO-ZnO·3SnO2/substrate 구조의 이종층 센서의 감도는 향상되었다. 센서 구조에 관계없이 I-V 변화는 모두 직선성을 나타내서 Ohmic 접합 특성을 이루고 있었다.


The sensing properties of carbon monooxide were investigated as a function of mixing ratio and the lamination structure of 3mol% ZnO-doped SnO2 and 3mol% SnO2-doped ZnO. The lamination structures were fabricared monolayer, double layer, and hetero layer of SnO2, ZnO, and theirs mixture composition using thick film process. There was no second phase by the reaction of SnO2 and ZnO. The conductance was decreased by the addition of ZnO in SnO2, but it was increased with the addition of SnO2 in ZnO. The conductance was increased with temperature and the inlet of CO. There was no improvement of sensitivity in the structure of mono- and double-layer. The hetero-layer structure, however, of SnO2·3ZnO-ZnO·3SnO2 showed the higher resistivity and the highest sensitivity. Ohmic characteristics was confirmed by the linear properties for I-V measurements.